电子束光刻技术突破：光罩图形化的关键进展
这篇文章深入探讨了电子束光刻技术的发展现状及其在半导体制造中的关键作用。与备受关注的光学投影光刻技术相比，电子束光刻虽然在产量上不占优势，但其超高分辨率和无掩模直写特性使其在光罩制造、量子芯片等特定领域具有不可替代的价值。文章详细解析了电子束光刻机的工作原理，包括电子枪、真空系统、精密工件台等核心组件，并对比了不同技术路线的特点。
文章梳理了电子束光刻技术从高斯束、变形束到多束系统的发展历程，指出多束技术大幅提升了生产效率。当前全球市场由日本JEOL、NuFlare和奥地利IMS等企业主导，而中国大陆企业正加速研发商用电子束光刻设备。作者强调，要突破技术封锁，必须夯实扫描电子显微镜等基础技术，才能满足国内对先进光罩的迫切需求。文章最后指出，在半导体国产化进程中，发展自主电子束光刻技术既面临挑战又刻不容缓。
中美经贸高层会谈引全球关注 双方寻求突破性进展
俄土外长就俄乌和谈进展进行关键磋商
中美经贸高层会谈取得突破 三大亮点引关注
中美经贸高层会谈取得突破性成果
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中美经贸高层会谈引全球关注 双方寻求突破性进展
5月10日至11日，中美经贸高层会谈在瑞士日内瓦举行。会谈期间，双方进行了坦诚深入的沟通，达成多项重要共识，取得实质性进展。此次会谈选址日内瓦别具深意，瑞士作为中立国，与中国和美国都保持着密切的经贸关系，为双方提供了良好的对话环境。会谈正值...
新华社 </h6> < ｜ 2025-05-14 20:27
俄土外长就俄乌和谈进展进行关键磋商
5月11日，俄罗斯总统普京提出在土耳其伊斯坦布尔恢复俄乌直接谈判的建议，并表示俄方愿意在不设前提条件的情况下与乌克兰展开对话。次日，乌克兰总统泽连斯基通过视频讲话回应称，已向土耳其总统埃尔多安确认乌方愿意与普京进行实质性会谈，并做好了前往土...
央视新闻 </h6> &l ｜ 2025-05-14 20:27
中美经贸高层会谈取得突破 三大亮点引关注
当地时间5月10日至11日，中美双方在瑞士日内瓦举行经贸高层会谈。会谈达成一系列重要共识，取得实质性进展。当地时间5月12日，中美发表日内瓦经贸会谈联合声明。谭主了解到，此次会谈达成的联合声明平衡、有利于双方。关于这次会谈，有三...
玉渊谭天 </h6> &l ｜ 2025-05-13 20:09
中美经贸高层会谈取得突破性成果
您的浏览器不支持音频播放。 南财早新闻，早听早知道。今日关注新华社：中美经贸高层会谈5月10日至11日在瑞士日内瓦举行。中美经贸中方牵头人、国务院副总理何立峰当地时间11日晚在出席中方代表团举行的新闻发布会时表示，此次...
南方财经综合 </h6> ｜ 2025-05-12 18:00